Анюхин, В. З. Практикум по химии и технологии полупроводников [Электронный ресурс] : учебное пособие / В. З. Анюхин, Е. Г. Гончаров, Е. П. Кострюкова ; под ред. Я. А. Гая. – Москва : Высшая школа, 1978. – 191 с.